论文研究 45nm节点金属硅化物的选择性蚀刻 .pdf
45nm节点金属硅化物的选择性蚀刻，董飏，黄其煜，在45nm节点制程中,用NiPt取代Ti和Co成为金属硅化物的主要材料，常用的制备方法是两步加热法。本文通过实验得到金属硅化物制程中，采��
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