论文研究 缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备的建模与调度.pdf

论文研究-缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备的建模与调度.pdf,  在半导体制造中，多组合设备被广泛应用于晶圆加工.对于缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备，当机械手的移动时间远远小于晶圆加工时间时，它是否存在一个1-晶圆最优周期调度仍是个有待解决的问题.针对此问题，本文首先运用Petri网对系统进行建模，经过对单组合设备调度和相邻设备协调运作的分析，证明系统的1-晶圆周期达到下界值时总是可