国产MEMS传感器集成封装方法问世

Name: 国产MEMS传感器集成封装方法问世
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Author: rainiloveyou

上传者：rainiloveyou 2020-07-19 00:25:59上传 PDF文件 51.01KB 热度 33次

中国科学院地质与地球物理研究所工程师薛旭等人以梳齿型MEMS加速度计为典型实施例，发明了一种适合MEMS尤其是MEMS惯性传感器的集成封装方法。

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国产MEMS传感器集成封装方法问世

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