论文研究 超短电压脉冲放电加工制备微结构

小孔和阵列孔的加工一直是加工领域中的难题。 小孔被广泛用于机械领域，例如，燃料喷嘴，用于合成纤维的喷丝孔和拉丝模。 本文研究了电火花加工（EDM）在微结构制造中的应用。 微放电加工过程中存在明显的局限性，例如电极磨损，不稳定的放电条件和较低的加工效率。 研究了电火花加工参数的影响，例如电压，脉冲频率和施加到电极上的超声振动的频率。 用通过聚焦离子束化学气相沉积（FIB-CVD）制成的Pt电极和通过线电极切割制成的Cu电极加工微孔。 EDM与ECM（电化学加工）的对比实验表明，ECM的加工过程中杂散电流腐蚀严重，加工精度较差。 此外，首先提出了将工件振动用于微放电加工中。 可以得出结论，在适当的