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单面电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究

上传者: 2020-07-18 18:53:06上传 PDF文件 631.67KB 热度 10次
单面电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究 ,刘海强,秦利锋,本文系统的研究了单面电极对FBAR粘度传感器的灵敏度和Q值的影响。研究结果表明,与电极可忽略FBAR粘度传感器相比,传感器的灵敏度随
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