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基于PSD的小角度测量系统的设计

上传者: 2020-07-18 10:58:51上传 PDF文件 265.6KB 热度 11次
基于PSD的小角度测量系统的设计,刘泊,张明富,本文的目的是设计一维小角度的测量装置,主要是利用光自准直原理,将微小角度的测量转换为微位移的测量,使用高位置分辨率的光电
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