论文研究 Parallel valveless micropump with two flexible diaphragms.pdf 上传者：houguof 2020-07-18 04:47:23上传 PDF文件 307.62KB 热度 19次 电磁驱动无阀并联微泵，苏宇锋，陈文元，本文提出了一种并联式动态无阀并联微泵，该微泵由阀体、振动膜和电磁线圈三层结构组成。其中，阀体是由休硅湿法刻蚀制得，阀体上 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
