基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用
基于AFM悬臂探针的微纳米力学检测系统及其在变形解耦测量中的应用，苏东川，李喜德，在微纳器件中结构的尺度极度缩小，因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一。探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点，
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