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硅微型压力传感器在工业及医疗上的应用.pdf

上传者: 2020-07-18 00:41:23上传 PDF文件 110.3KB 热度 9次
硅微型压力传感器的特点是体积小,重量轻,没有活动部件,可靠性高,又能大规模生产该传感器,所以造价低。高可靠性,低成本对于
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