室内环境监测方案 技术方案

无尘室是半导体生产的关键设施。不对生产过程进行严格的控制将产生有缺陷的芯片并且浪费宝贵的资源。对无尘室环境的监控包括管理空气过滤系统、控制系统以及监测室内的温度、湿度、压力、气体成分和其它参数。为半导体制造商工作的现场工程师希望能够连续简单地使用无尘室环境监控系统。这样的系统应该能够收集数据进行分析，确保制造过程在可接受的参数下进行，从而防止问题的发生。系统应该确保加工过程符合半导体工业标准 - 一个非常重要的因素。用DAM-3000 系列数据采集模块构成一个全面的无尘室监测系统的核心。它们提供了一个经济的、易于实施的解决方案。