论文研究 低密度弱电离等离子体中理论和实验径向电子温度曲线的比较

针对低辉度区域中低密度等离子体和弱电离气体中电子温度（RDFT）的径向分布函数进行了实验和理论研究。 实验上，通过在低压辉光放电中在不同压力下从氦电极的中心径向向阴极边缘径向移动的Langmuir探针测量电子温度和密度。 将最终实验数据对电子温度和密度在0.2至1.2 torr范围内的不同低压的径向分布进行比较后，通过RDFT的最终证明方程，可以确认电子温度随着径向距离和气压乘积的增加而降低，显示了电子温度从电极中心到边缘的径向递减依赖性。 这归因于在较高气压下电子-原子碰撞的次数增加，因此电离速率增加。 对于从探针尖端到阴极电极的轴向距离（L）和阴极电极半径（R），对两种条件L R进