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二维激光衍射法在直径测量系统中的应用.pdf

上传者: 2020-07-17 20:22:46上传 PDF文件 318KB 热度 11次
一种利用菲涅尔衍射效应精确测量工件直径的方法。该测量系统由处于相互垂直位置的两组激光二极管和线阵CCD组成,利用工件激光衍
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