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温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响

上传者: 2020-07-17 19:59:32上传 PDF文件 434.41KB 热度 14次
温度对等离子渗硼源极溅射行为及渗硼层成分的影响,马连军,詹科,采用双层辉光等离子渗硼技术,以固体化合物FeB为硼源在Ti6Al4V合金基体上制备了渗硼层,研究了等离子渗硼过程中不同温度下源极的溅�
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