MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究 上传者：m_common 2020-07-17 16:53:13上传 PDF文件 438KB 热度 39次 MEMS微型富集器的制备及其对有机硫气体的吸附性能研究，李亚茹，袁晓敏，本文采用MEMS工艺完成对三维格栅分流型富集器结构的加工。分别以碳纳米管和Tenax-TA作为吸附材料，完成这两种吸附材料的吸附性能对比 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
