硅片双端面磨削工作台设计与仿真分析

针对硅片双端面磨削工作台与砂轮干涉的问题,设计了一种新的工作台,不仅可以消除工作台与砂轮的干涉,还可以实现旋转的功能,为了验证工作台结构的可行性,采用ADAMS仿真软件对机构进行了运动学仿真,得到了工作台在工作过程中的角速度曲线,并对影响工作台平稳性的参数进行了对比研究,结果表明,并非驱动角速度越低系统越稳定,而是系统参数之间存在最优的匹配值。