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基于呼吸图案法的微纳加工技术进展

上传者: 2020-07-17 14:29:41上传 PDF文件 1.12MB 热度 15次
基于呼吸图案法的微纳加工技术进展,苏丹,张晓阳,呼吸图案是在固体或液体表面形成水雾的现象,呼吸图案法是利用呼吸图案作为模板构筑微纳结构的方法。相比传统的微纳加工方式,呼
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