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Fabrication and evolution of nanostructure in Al2O3 single crystals by Zn+ ions

上传者: 2020-07-17 10:44:35上传 PDF文件 577.71KB 热度 11次
Zn离子注入单晶Al2O3并退火制备ZnO纳米结构,徐进霞,张红秀,将能量为60 keV的Zn+注入到[0001]α-Al2O3 单晶 (蓝宝石),注入剂量为 1×1017 ions/cm2 和 2×1017 ions/cm2,然后将样品在氧气氛下不同温度退火。用�
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