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Wafer scale synthesis of polycrystalline monolayer graphene film with large doma

上传者: 2020-07-17 10:44:23上传 PDF文件 482.27KB 热度 22次
晶圆级大畴多晶单层石墨烯的可控制备,刘竞博,李萍剑,通过调控石墨烯晶畴的形核密度和晶畴尺寸,采用化学气相沉积法制备出1×1英寸晶圆级多晶单层石墨烯薄膜,单个晶畴尺寸达到~1毫米。
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