氧碳含量对太阳电池光电转换效率影响的研究_霍秀敏.caj

本文主要研究了太阳电池用直拉硅片中氧碳含量对太阳电池光电转换效率的影响。主要工作包括三个部分：首先研究了不同温度的热退火对于硅片氧碳含量和少子寿命的影响，然后将热处理过程应用于常规太阳电池的制备工艺，制出太阳电池。比较两种工艺过程太阳电池的性能。 作为该项研究的先期工作，首先以p型(100)太阳电池用直拉硅片为实验样品，摸索出热退火的最佳处理温度；然后用常规工艺制备了单晶硅太阳电池，测试效率；结果发现用经过热处理的硅片衬底制备的太阳电池比用没有经过热处理的硅片衬底制备的太阳电池其效率有明显改善。将太阳电池样品分别用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Dep