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Al2O3/SiNx叠层膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的研究

上传者: 2020-07-17 05:50:30上传 PDF文件 480.35KB 热度 17次
Al2O3/SiNx叠层膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的研究 ,王禹钧,张炳烨,本文主要研究了同一退火时间下不同退火温度对n型CZ-Si单层厚度为8nm的Al2O3膜钝化效果的影响,发现在退火时间为25min的情况下,退火温�
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