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A low stress elastic and improved hardness hydrogenated amorphous carbon film

上传者: 2020-07-17 02:58:40上传 PDF文件 500KB 热度 17次
低应力、高弹性、较高硬度的含氢碳膜,王琦,贺德衍,研究了不同氢气流量下制备的含fullerene-like微结构氢化碳膜的结构和机械性能,并探讨了fullerene-like微结构含量和机械性能之间的关系。�
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