多壁碳纳米管改善甲烷传感器响应性能研究

采用多壁碳纳米管(MWNTs)改善传统载体的盲孔性结构,提升传感器性能。向Al2O3粉体中掺入不同比例的羟基化MWNTs,制备了MWNTs和Al2O3质量分数比0.05%、0.1%和0.5%的3种载体,制成了微悬梁结构的甲烷传感器。测试表明:MWNTs的掺杂显著地提高了Al2O3气敏材料对甲烷气体的灵敏度及响应时间,灵敏度14 mV/1%CH4,响应恢复时间分别为7 s和9 s。研究成果为改善传统载体甲烷传感器的性能提供了有益参考。