热处理工艺对于AZO薄膜电阻及其稳定性的影响 上传者：qq_49496 2020-07-17 02:33:43上传 PDF文件 268.27KB 热度 35次 热处理工艺对于AZO薄膜电阻及其稳定性的影响，王丹，端木庆铎，采用原子层沉积技术，在玻璃衬底上沉积AZO纳米叠层薄膜，制备了一种应用于微通道板打拿极导电层的薄膜。分析了热处理工艺对AZO薄膜 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
