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热处理工艺对于AZO薄膜电阻及其稳定性的影响

上传者: 2020-07-17 02:33:43上传 PDF文件 268.27KB 热度 16次
热处理工艺对于AZO薄膜电阻及其稳定性的影响,王丹,端木庆铎,采用原子层沉积技术,在玻璃衬底上沉积AZO纳米叠层薄膜,制备了一种应用于微通道板打拿极导电层的薄膜。分析了热处理工艺对AZO薄膜
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