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LaAlO3/SrTiO3基场效应晶体管的开关性能研究

上传者: 2020-07-17 02:17:09上传 PDF文件 423.77KB 热度 13次
LaAlO3/SrTiO3基场效应晶体管的开关性能研究 ,吴曙翔,,通过激光分子束外延在以TiO2为终止面的SrTiO3(001)衬底上外延制备10晶胞层厚度的LaAlO3薄膜。构建以LaAlO3/SrTiO3界面二维电子气为沟道层、LaA
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