论文研究 酸性聚酯酰亚胺作为负性黑色光刻胶的热稳定粘合剂聚合物

聚酰亚胺以其高化学惰性和热稳定性而闻名。 但是，由于酰亚胺化反应需要苛刻的条件以至于丙烯酸酯型双键不能承受，因此合成可UV固化的聚酰亚胺通常具有挑战性。 在这项工作中，开发了合成方法以获得具有高的热稳定性，与黑色光致抗蚀剂的其他组分的高相容性以及对于负性黑色光致抗蚀剂的精细的光刻构图特性的聚酯-酰亚胺型粘合剂聚合物。 用于用二酐进行聚酯化的二酰亚胺-二酸或二酰亚胺-二醇中间体的合成得到满足该要求的聚酯酰亚胺。 光刻测试表明，可以获得有机发光二极管（OLED）面板的微米级PDL的图案。 这项工作将引起研究人员对热稳定粘合剂聚合物的设计和优化的兴趣。