硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展 上传者：wangfyan 2020-07-17 00:13:54上传 PDF文件 433.96KB 热度 41次 硅烷等离子体中尘埃微粒流体模型的研究进展，庄娟，，控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长，可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量，为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
