论文研究 单固体前驱体制备金属有机化学气相沉积铝掺杂ZnO薄膜及其性能

采用金属有机化学气相沉积技术（MOCVD），使用制备的乙酸锌二水合物（Zn（CH3COO）2⋅2H2O）的混合物将氧化锌（ZnO）和铝掺杂的ZnO（AZO）薄膜沉积在钠钙玻璃上。 ZAD）和乙酰丙酮铝（Al（C5H702）3; AAA）的前体，温度为420°C。 系统研究了AAA前体添加剂的不同摩尔百分比浓度对ZnO中Al掺杂剂浓度的影响。 这些观察是通过对沉积薄膜的形态，光学，电学和组成特性进行研究而得出的。 发现薄膜形态在很大程度上取决于前体混合物中AAA浓度的变化。 除了5摩尔％的Al之外，薄膜在uv-可见区域中的平均光学透射率超过85％。 虽然发现能带隙在3.27-3.36 eV的范围