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MOCVD技术在光电薄膜方面的应用及其最新进展.pdf

上传者: 2020-07-16 22:15:32上传 PDF文件 164.59KB 热度 17次
MOCVD技术在半导体材料和器件及薄膜制备方面取得了巨大的成功。尽管如此,MOCVD仍是一种发展中的半导体超精细加工技术,MOCVD技
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