HDP制程中等离子损伤引起的GOI失效问题的改善研究 上传者：猫小暗！ 2020-07-16 19:52:19上传 PDF文件 893.93KB 热度 16次 HDP制程中等离子损伤引起的GOI失效问题的改善研究，张志刚，程秀兰，本文针对高密度等离子体化学气相淀积工艺中等离子体引起的栅氧完整性失效问题，从化学气相淀积工艺角度探索解决方案，并在实验设 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
