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氧化钛薄膜纳米压痕过程的有限元分析

上传者: 2020-07-16 18:20:41上传 PDF文件 472.22KB 热度 16次
氧化钛薄膜纳米压痕过程的有限元分析,张智慧,冀国俊,本文以涂敷于玻璃表面的氧化钛薄膜的纳米压痕实验为基础,对薄膜的压痕过程进行了有限元分析。通过与实验结果相比较,验证了有限
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