论文研究 含乙醛酸铜配合物和甲胺铜配合物的混合铜复溶液激光辐照空气中聚酰亚胺膜上铜细线的制备及性能

已经研究了通过激光照射在空气中在聚酰亚胺膜上形成由乙醛酸铜络合物和甲胺铜络合物组成的稳定的铜络合物膜的铜布线。 即使在空气中，在聚酰亚胺膜上也会沉淀出稳定的金属铜。 由于该铜仅在被激光照射的部分产生，因此可以直接图案化铜布线。 还发现铜通过在激光沉积的铜布线上的化学镀铜而沉淀，并且可以通过该沉淀使铜布线变厚。 铜布线的电阻率几乎与金属铜的电阻率相同。 所开发的方法（将激光辐照结合到铜复合镀膜上并进行化学镀）将空气中的细铜线通过印刷工艺高速沉积在聚酰亚胺膜上，表明制造铜的成本低廉且有用无需高真空设备的布线和在惰性气体下的热处理。