论文研究 基于衍射效应的C MEMS悬浮结构的仿真和制备 .pdf
基于衍射效应的C-MEMS悬浮结构的仿真和制备，龙胡，刘丹，提出了一个制造三维C-MEMS的悬浮结构的制造体系。通过仔细分析三维C-MEMS的制造过程，发现光刻中的曝光过程决定悬浮结构能否形成，而
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