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Suppression of higher order harmonics by a glass capillary array in 5 43nm

上传者: 2020-07-16 16:38:28上传 PDF文件 291.89KB 热度 10次
玻璃毛细管阵列对5-43nm高次谐波的抑制,蒋新亭,,利用光谱辐射标准和计量光束线(U27)的球面光栅单色器(SGM)分支产生的极紫外(EUV)和软X射线、Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片(100/50/150/1
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