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Pt/Al2O3衬底上低损耗Mn2+掺杂Br0.5Sr0.5TiO3薄膜制备研究

上传者: 2020-07-16 15:42:54上传 PDF文件 902.23KB 热度 12次
Pt/Al2O3衬底上低损耗Mn2+掺杂Br0.5Sr0.5TiO3薄膜制备研究,熊年登,蒋书文,采用射频磁控溅射法在Pt/ Al2O3衬底上制备了2mol% Mn2+掺杂的Br0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。分析了衬底表面沉积粒子的能量状态,对溅射工艺如基片�
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