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N2分压对ZrGeN阻挡层微结构及性能影响

上传者: 2020-07-16 10:26:04上传 PDF文件 991.22KB 热度 8次
N2分压对ZrGeN阻挡层微结构及性能影响,张彦坡,刘波,本文采用射频磁控溅射技术制备ZrGeN薄膜,研究N2/(Ar+N2)比率与ZrGeN薄膜微结构、成分与性能的相关性。采用高分辨透射电镜(HRTEM)、俄歇电
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