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论文研究等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究 .pdf

上传者: 2020-07-16 09:25:23上传 PDF文件 635.47KB 热度 21次
等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究 ,刘晓敏,房丹,GaSb材料具有较高的电子和空穴迁移率而广泛的运用在光电子器件中。然而GaSb材料的表面态严重影响材料的性质,阻碍了GaSb基器件性能的
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