论文研究 脉冲真空电弧喷涂机沉积铜薄层

在这项工作中，研究了使用脉冲真空电弧喷涂法在不锈钢基底上沉积铜涂层的工艺特征。 连续的铜层沉积在不锈钢基板上，并且证明了涂层对基板的高度附着力。 计算使用涂布时间的涂层厚度，并估计表面不平坦度。 在涂层内部观察到基材材料元素，这可能是由于同时在基材表面进行等离子喷涂而出现的。 发现了该方法的特征，即表面等离子体在沉积过程中起着重要作用。 最后，表明具有脉冲电弧的装置可以有效地用于工业中，因为可以通过改变沉积时间在数百微米的范围内改变层厚度。