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MeV氧离子注入镁掺杂近化学剂量比铌酸锂制备平面光波导

上传者: 2020-06-19 05:22:15上传 PDF文件 576.44KB 热度 17次
MeV氧离子注入镁掺杂近化学剂量比铌酸锂制备平面光波导,王磊,项炳锡,采用不同剂量的4.5MeV的氧离子注入镁掺杂近化学计量比铌酸锂形成平面光波导.利用棱镜耦合方法和卢瑟福背散射/沟道技术测量波导暗模
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