论文研究 具有数字读出功能的宽范围RH检测:卓越的性能和廉价的技术具有独特的优势

在本文中，我们报告了基于氧化铝的电容式湿度传感器，在宽范围的RH段（10％-90％）中具有出色的传感性能。开发的传感器在准确性，可靠性和经济效益方面都有改进；除了快速响应和恢复时间（〜s），基线漂移可忽略不计以及对水分的高选择性外。基于它们的微观结构，例如表面积和中孔体积，讨论了传感机理。通常，在低湿度下，表面积和水吸附起主要作用，而在高湿度下，中孔体积和毛细管凝结变得重要。标准的表征技术，如AFM，FESEM，BET，XRD和阻抗谱，被用于RH传感器的微观结构和电学表征。纳米多孔氧化铝膜在吸收水分后经历介电的巨大变化，从而导致电容的大变化。此外，已经开发了带有数字读数的湿度计的