电子科大第二章MEMS的设计..ppt

Name: 电子科大第二章MEMS的设计..ppt
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Author: linhaifeng4467

上传者：linhaifeng4467 2020-06-11 17:20:23上传 PPT文件 1.19MB 热度 39次

内容提要： 1.硅晶体结构与微观力学 2.微尺度效应 3.MEMS设计的基本问题 4.MEMS设计的具体方法

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