40kHz正弦波高压等离子体电源.pdf

40kHz正弦波高压等离子体电源pdf,文章介绍了一种用于工业设备的等离子体放电电源，给出了主电路、功率稳定电路的设计过程。电源主电路由功率场效应晶体管构成的H桥式电路，串并联混合谐振电路，变压器阻抗变换电路组成。研制成的等离子体放电电源在太阳能电池生产线等离子体增强化学气相沉积设备上满足使用要求，电源工作稳定可靠。