脉冲调制射频感性耦合氩气/氧气混合放电的实验研究
脉冲调制射频感性耦合氩气/氧气混合放电的实验研究，刘晓华，高飞，本文使用光探针对脉冲调制射频感性耦合等离子体放电特性进行了实验研究，放电气体采用氩气/氧气混合气体。重点观察了Ar的750.4nm和8
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