论文研究基于eMPlant的参数化虚拟组合设备.pdf

论文研究-基于eM-Plant的参数化虚拟组合设备.pdf,  由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动,使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难,而仿真是一个有效的方法.如果组合设备的调度存在可行性,那么,通过仿真能够找到系统的可行调度.利用eM-Plant建立了虚拟的单臂组合设备,该系统是可重配置的.不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间,