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RFPCVD法碳化钨纳米粉的制备

上传者: 2020-05-31 20:33:34上传 PDF文件 312.52KB 热度 30次
RF-PCVD法碳化钨纳米粉的制备,闫波,孙彦平,本文以WCl6+H2+C2H2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制备了纳米级碳化钨(WC)粉体。文中采用HRTEM(高分辨率透射�
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