论文研究 适用于智能家居的高级热电堆红外双线传感器

本文介绍了从高级设计到专用于智能家居应用的CMOS兼容热电效应红外传感器生产之间的所有步骤。首先将对热电堆，辐射热计和热电技术进行比较。尽管乍一看用辐射热测量仪提供的灵敏度性能似乎更好，但是发现热电堆具有不可忽略的优势，使其更适合此应用领域。然后，将描述设计所需的不同步骤，从传感器的热电模型（温度梯度，电灵敏度等）开始，并考虑所有步骤直至洁净室中的技术制造。将介绍在特定计算机控制的测量工作台上生产的结构所获得的结果（使用板载前置放大卡进行温度调节）。最后，结果证明方形结构具有更好的性能（S=82V/W和NETD=208mK）。