硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf

Name: 硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf
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Author: qq_31102354

上传者：qq_31102354 2020-05-30 04:53:03上传 PDF文件 99.05KB 热度 37次

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。检测杂质浓度有效范围0.02~20ppba。P型电阻率范

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