论文研究Evaluation of the Chiplevel Thermal Uniformity for Semiconductor Devices.pdf
半导体器件芯片级温度均匀性检测技术的研究，张光沉，冯士维，本文提出了一种通过电学瞬态温度响应测量检测半导体器件芯片级温度均匀性的方法。实验证明器件的芯片级热不均匀性与加热响应曲线
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