论文研究 溅射PBII混合系统合成的DLC / SiN复合膜的沉积和热稳定性

类金刚石碳（DLC）是一种亚稳态无定形材料，具有独特的性能。然而，由于诸如高温下的摩擦学特性和有限的热稳定性之类的因素，关于该材料的使用存在许多限制。在这项研究中，研究了DLC/硅氮（DLC/Si-N）复合膜的热稳定性和摩擦学性能，并将其与纯DLC膜的热稳定性和摩擦学性能进行了比较。所有的薄膜都是使用我们新开发的射频（RF）磁控溅射和基于等离子体的离子注入（PBII）（所谓的溅射-PBII混合系统）合成的。将高纯度氮化硅（99.9％）盘用作目标，向基板施加500至700W范围内的RF功率和5kV的负脉冲偏置电压。将Ar-CH4混合物用作反应气体。CH4分压在0至0.15