直流脉冲等离子体CVD制备碳氮薄膜的Ar离子原位应力抑制 上传者：水中花wk 2020-05-27 14:05:57上传 PDF文件 825.22KB 热度 43次 直流脉冲等离子体CVD制备碳氮薄膜的Ar离子原位应力抑制，王琦，贺德衍，研究了不同Ar气流量下制备的含氢碳氮膜的结构和机械性能，并探讨了不同Ar气流量下对微结构和和相应机械性能的影响关系。实验发现� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
