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柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟

上传者: 2020-05-24 22:34:28上传 PDF文件 388.69KB 热度 12次
柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟,王四林,邵可然,通过对一种柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究,运用有限元模拟,进行模态分析。通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算,为类似
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